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三坐標測量儀容易產(chǎn)生哪些誤差

發(fā)布時間:2019-03-15

三坐標測量儀除了定位誤差,直線度誤差,角運動誤差,垂直度誤差這四個幾何誤差之外,還有由于力變形、熱變形、測量系統(tǒng)、測頭系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、數(shù)據(jù)記錄和處理系統(tǒng)產(chǎn)生的誤差。

1.力變形誤差

三坐標測量儀作為一種精密儀器應(yīng)有較高的剛性,使力變形不成為影響三坐標測量儀測量精度的重要因素。但隨著各行業(yè)生產(chǎn)節(jié)奏的加快,對三坐標測量的效率要求也提高了,包括較高的運動速度和探測速度,這就要求它的運動部件質(zhì)量要輕,但這與提高構(gòu)件的剛度存在矛盾。

2.熱變形誤差

要了解三坐標測量儀的熱變形,首先要對儀器及被測物件及環(huán)境的溫度進行測量。為了實現(xiàn)熱變形誤差補償,需要在三根標尺上、被測件上貼測溫元件,在空氣中也需放置測溫元件,以檢查環(huán)境溫度及溫度梯度是否符合要求。只有在環(huán)境溫度符合要求時,檢驗測量儀的性能才有意義,同時三坐標測量儀的測量精度誤差也會大大減少。

為了實現(xiàn)誤差補償,除了測量溫度外,還必須知道標尺和被測件的等效線膨脹系數(shù)。所謂等效線膨脹系數(shù)是指實際機器中除與材料有關(guān),還和固定方式有關(guān),所以通過實測得到等效線膨脹系數(shù)既可以更好地反映標尺的使用狀態(tài)及熱變形誤差現(xiàn)狀,又符合一致性原則,因為采用同一測溫元件確定等效線膨脹系數(shù)和進行誤差補償,消除了測溫元件溫度標定誤差的影響。

3.測頭及附件誤差

三坐標測量儀的位移量z是被測尺寸L與測端等效直徑d的和(測量外尺寸)或差(測量內(nèi)尺寸),因此測端等效直徑的標定具有重要意義。測端等效直徑的標定方法是用測頭測量尺寸經(jīng)過標定的標準球或量塊,儀器移動量與標準球或量塊尺寸之差即為測端等效直徑。需要指出的是:由于測桿的彈性變形對測球的等效直徑影響很大,因此更換測桿、加接長桿、接轉(zhuǎn)接體或回轉(zhuǎn)體轉(zhuǎn)動角度后,都要對測端的等效直徑進行重新標定。

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